在洁净厂房设计规范GB50073-2001中，给洁净室三种状态做了以下定义，分别为空态、静态和动态。那么净化工程师在进行洁净厂房洁净等级设计时，就要明确设计目标最终是在洁净室什么状态下达到洁净等级，才能选型相关通风净化设备及净化材料，以确保符合用户的生产使用需求环境。下面，旗兴工程师分别对3种状态的定义做介绍，已经在不同状态下进行洁净室检测具体要求。

空态 as-built洁净室测试---设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。

静态 at-rest--设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及工艺商同意的状态下运行，但无生产人员。

动态 operational--设施已规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。

在ISO14644中规定将洁净室检测阶段划分如下：

空态洁净室的检测——Installation qualificafion(IQ)

静态洁净室的检测——Operational qualificafion(OQ)

动态洁净室的检测——Performance qualificafion(PQ)

 

空态洁净室的检测(IQ)

检查空态洁净室和安装的设备是否符合设计，至少要检查下列各点：

1、洁净室设备的成套性；

2、一切能源载体和工艺介质的供应（水、电、蒸汽、压缩空气、气体等）是否符合设计；

3、公用和辅助设备功能运转是否正确；

4、所以控制系统，监控器，报警和警报器等的检定（检查）日期；

5、安装质量；

6、安装过滤器（最终过滤器）的完整性；

7、电源和设备是否有备份，其中包括空气处理设备的风量余量；

8、压差；

9、气流特性（单向气流——流速，均匀性和气流方向）；

10、维护结构的密闭性；

11、检查循环空气与室外空气的比例是否符合设计；

12、表面洁净度；

13、包装中是否有备件。

检查HEPA（ULPA）过滤器的完整性具有重要意义，此项检查对ISO6级、ISO5级及更高级别的洁净室来说尤其必要。应检查表面洁净度及维护结构的密闭性（对ISO1级~ISO5级的洁净室特别重要）。

 

静态洁净室的检测(OQ)

本阶段的检测至少应完成下列各项工作：

1、确认洁净区划分原则是否符合要求；

2、确定洁净室在经过污染水平升高后的自净时间参数；

3、确定保持温度和相对湿度的稳定性；

4、按粒子数确定洁净度级别；

5、确定压差；

6、在必要的场所应按粒子和微生物污染水平确定表面的洁净度；

7、确定照度；

8、确定噪声级；

9、利用必要的工具目视检查气流并检查换气次数（必要时）；

10、将取得数据结果写成书面文件。

动态洁净室的检测(PQ)

为了评估动态洁净室工作的稳定性：

1、验证洁净室分割制度；

2、评估将温度和相对湿度保持在规定范围内的能力；

3、按粒子数检查洁净度级别并确定空气中的微生物浓度（必要时）；

4、验证压差；

5、按粒子数和微生物数量确定表面洁净度（必要时）；

6、检查洁净室运行文件的成套性，其中包括参数的检查方法，洁净室工作事故及采取的措施等，是否有基本的规程，如洁净室清扫、更衣、人员卫生等方面的规程等；

7、检查人员是否经过培训，是否有培训体系和相应的文件；

必要时还要检查振动强弱，空气电离程度，电磁场强度。可根据洁净室的特点改变测试的具体内容。

在使用过程中，应对洁净室的参数进行日常监控，监控要有一定的周期性，洁净室用户可根据规范文件的要求确定这种周期性

检测可在洁净室工作过程中进行（重复检测）；

发生下列各项后需进行重复检测：

1、洁净室达不到给定参数的原因已消除；

2、与使用条件例如洁净室的使用有较大差异（如改变工艺流程等）；

3、空气长时间停止流通（进风）而影响洁净室工作；

4、做了影响洁净室工作的个别维护或修理工作，如更换HEPA过滤器以后。