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某些制造业的洁净车间除了空气洁净度外，还有严格的温度、湿度要求，如果温湿度控度不好，洁净车间环境可能会产生负面影响，从而使产品的品质下降，比如滋生细菌，金属腐蚀、出现静电荷、水汽冷凝等现象都会对生产流程有不良影响、甚至危害。
在洁净车间设计中，对室内湿度的控制是需要较高技术含量的。洁净车间内的相对湿度，可以通过局部湿度来控制，如果室内湿度较高的话，可通过恒温恒湿控制系统降低冷冻盘管流出空气的温度来加强除湿。与此同时，通过再热盘管提供热量来保持室内温度。如果需要精准控制湿度，可以通过精密空调的新风绝热增湿效果来实现。
洁净车间内的相对湿度，也可以通过超声波湿度调节设备来控制，需要把超声波湿度调节元件安装在终过滤前的风管静压箱内。此外，还要注意用水水质与水电阴率，前者为RO/DI，后者为3-5mgm。
关于相对湿度的设计控制范围。如果低于控制范围，恒温恒湿设备会启动湿度调节功能，以便增加新风含水量。如果高于控制范围，恒温恒湿设备会降低新风控制冷冻盘管流出空气的露点温度，以便增强除湿效果。
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