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按照洁净室规范，洁净厂房为了保证洁净区的洁净度稳定达标，需要洁净度与非洁净度区房间维持一定的正压值，对不同等级的洁净室或洁净区也需要维持正压，静压差不应小于5Pa，实践中理想的情况是洁净区与非洁净区的静压差不应小于10Pa。
在实践经验的积累中，我们总结了维持洁净室正压有以下方法：
（1）安装余压阀：即在洁净室的下风向侧墙安装，预先调整余压阀维持室内正压值的开启度，通过余压阀开启关闭调整维持正压值，采用余压阀时应注意长期使用会关闭不严。
（2）送风量大于回风量的方法维持室内正压，送风室内均布，回风口布置合理。
（3）通过安装在回风口或支风管道上的对开式多叶调节阀来维持室内止值。这种方法简单方便，但精确度不如余压阀高。
（4）在回风口处安装空气阻尼层，阻尼层材料有尼龙纱、尼龙筛网（孔眼>100目）、在碱液中浸泡过的中细孔泡沫塑料、无纺布等，即通过回风阻尼层阻力逐渐增加而使室内正压增加。该种方法只适用于走廊或套间回风方式。
（5）要求洁净室（区）外围护结构密封性能良好，例如安装洁净门的门板离地坪门缝不能偏大。
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