一般来说，消毒剂对于人体是有不利影响的，比如臭氧，达到一定浓度，会麻痹神经，致幻。所以，在洁净室使用臭氧消毒时，需要对临近的区域实施同步的监控与管理，对于臭氧消毒操作来说，需要EHS人员的同步参与。

     一个完整的洁净室臭氧消毒过程，大致应该是这样的：

1：仪器准备：温湿度计和臭氧浓度测试仪。消毒过程中需要监测每台空调回风主管的湿度和臭氧浓度。

2：设备准备：打开冷却水的进、出口阀门，臭氧发生器的压缩空气阀打开且压力值正常要求范围内，插入开关钥匙，点击启动按钮后“启动”指示灯点亮，此时，臭氧发生器没有报警输出。

3：清场确认：设备启动前在消毒区域外沿使用警示带围闭，粘贴警示标识，并对对消毒区域进行人员清场。

4：封闭消毒区域出口（传送带，物料门等）。开启供臭氧主管的保护罩，打开臭氧供气主管阀门。确认每台空调送风管上臭氧供气管手阀处于打开状态，并确认系统正常。

5：封闭所有人流物流，对臭氧消毒区域进行再次清场确认。开启臭氧机开始发送臭氧至各个空调的送风管，关闭新风阀门。臭氧浓度检测仪反馈数值达到设置值时，开始计时，维持臭氧浓度在要求范围内，维持经验证的时间，并每隔指定时间对湿度计和臭氧浓度测试仪进行读数并记录回风湿度和臭氧浓度，进行消毒过程记录。

6：完成消毒后，打开排风阀，停止臭氧机，打开新风阀门，关闭回风阀，进入稀释阶段，稀释指定的验证时间。稀释阶段结束后，操作人员带防毒面罩（防臭氧专用），携手持式浓度测试仪对每个房间进行浓度确认，若所有房间内臭氧浓度均低于要求水平时，确认整个消毒过程结束，房间可以放行用于其它用途，若有房间内臭氧浓度高于要求水平则操作人员退出，重新进行稀释流程。