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洁净厂房高纯气体管道系统施工总则

洁净厂房中，工艺管道通常包含高纯气体管道系统，这些高纯气体管道属于洁净技术控制范畴，有三个重要参数指标：气体纯度、干燥度、洁净度（即三度控制）。气体纯度--指气体中杂质气氛的含量，通常用气体纯度的百分数表示，如99.9999%（俗称6个9），也可用杂质气氛含量的体积比m、表示。洁净厂房高纯气体管道系统建成......

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