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半导体洁净室湿度控制的重要性

湿度控制是确保无尘车间高效运作的关键因素,其中相对湿度是一个重要的环境控制指标。在半导体无尘车间和洁净室中,典型的相对湿度控制目标范围设定在30至50%,且允许的误差范围非常狭窄,如光刻区或远紫外线处理区甚至要求更严苛,而其他区域则可适度放宽至±5%。然而,近年来随着技术要求的提高,维持这一处理空气......

恒温恒湿系统设计方案概述

一、概述在许多工业生产、仓储以及科研等领域,对环境的温度和湿度有着严格的要求。不合适的温湿度条件可能会影响产品质量、设备性能甚至人员健康。例如,在电子芯片制造过程中,微小的温湿度变化都可能导致芯片出现瑕疵;在药品储存环节,温湿度控制不当会使药品变质失效。因此,应用一套可靠的恒温恒湿系统是除无尘......

湿度控制对洁净室的重要性有哪些?

‌湿度,对洁净室的重要性,主要体现在以下几个方面:防止微生物滋生‌:高湿度环境为微生物提供了理想的繁殖条件,可能导致细菌、霉菌和其他微生物的滋生和传播。通过严格控制湿度在合理范围内,可以减少微生物的生长和污染,保持洁净环境的无菌性‌。‌减少颗粒物积聚‌:高湿度会导致空气中的颗粒物聚集和沉积,影......

100 级洁净室净化空调的组合方式

100级的洁净室,是室内环境的污染颗粒物的控制较高,净化空调的组合宜采用PAHU+AHU+FFU的空调方式,其中:PAHU为新风处理机组,AHU为空气处理机组,FFU为带风机的高效过滤器系统中加PAHU,洁净室正压由PAHU风机马达变频控制,同时使室外环境的变化对洁净室的影响减小,对洁净室的温、湿度控制有利。每个车间均为独立......

洁净空调的功能段和结构图

洁净空调广泛应用于对室内空气有洁净度要求的环境,例如医院手术室检验室、制药医疗洁净车间、生物实验室、电子元件净化车间等等,它的设计和施工安装的技术要求比一般舒适性空调要高,那么它与一般舒适性空调的区别在哪里呢?相比而言,洁净空调对空气的温度、湿度控制更加精准和严格,并且洁净空调可以对空气中尘埃......

洁净室HEPA过滤器采用FFU和RAU的区别

当用户计划用于改造洁净实验室或洁净车间的建筑物,由于建筑空间高度限制、建筑承重等客观因素有所限制时,净化工程师会面临净化设计的挑战,如何安装大型空气处理器或者净化风柜,以及如何在现有建筑物内铺设大量的送回风管道系统。在空气洁净度和温湿度控制相对要求不高的情况下,规模较小的洁净车间可以使用风机驱......

无尘车间BMS系统的简介和应用

BMS系统简称楼宇自控系统,其控制对象通常包括空调系统冷热源、空调机组、新风机组、送排风机的控制,洁净区压差控制、房间温湿度控制等。对于制药企业、保健品制造企业的无尘车间来说,BMS是用于控制和管理HVAC系统和公用系统,提供符合GMP要求的洁净生产工艺环境。同时,提供监测和记录功能,监测和记录各类设备和......